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반도체 및 LCD부품소재

Al₂O₃ Part 알루미나
알루미나 세라믹스는 특유의 내열성/내마모성/반도성/절연성의 특성을 갖고 있으며
각종 전자부품, 반도체 LCD공정, 우주선, 자동차 엔진 뿐만 아니라 인체의 골격이식에
이르기까지 그 사용 영역이 광범위합니다. SKC solmics는 알루미나 소결시
제품형태에 따라 Slip Casting과 CIP(Cold Isosstatic Pressing) 제조공법을 통해 고객이
만족하는 고순도 알루미나 제품을 생산/납품하고 있습니다.
Silicon Part 실리콘
국내 Si Spare Part는 상당부분 국산화가 진행되어 있는 분야로 크게 Ring Type과
Cathode으로 나눌 수 있습니다. SKC solmics는 폴리싱과 엣칭부분의
독보적인 기술력을 바탕으로 반도체 식각공정 중에서 플라즈마가 웨이퍼에 집중할
수 있도록 하는 역할과 ESC척을 보호하는 제품을 생산하고 있습니다.
SiC Part 실리콘카바이드
SKC solmics는 반도체 저압화학기상증착(LP-CVD) 공정에 쓰이는 튜브(Tubes)와
보트(boats) alc 치구류를 개발하고 있습니다. 초고순도반응소결법으로 제조해
300mm 웨이퍼 열처리가 가능하며 순도가 높고 내열성이 우수한 것이 특징입니다.
현재 국내 확산공정이나 LP-CVD 공정에 이용되는 실리콘카바이드 제품은
전량 수입되고 있으므로 제품양산시 신규매출뿐만 아니라 수입대체효과까지
거둘 수 있을 것으로 기대를 모드고 있습니다.
AlN Part 질화알루미늄
AlN은 슬리콘 웨이퍼와 비슷한 열평창계수 및 높은 열전도율과 열충격에 강한
특성을 가지고 있는 동시에 가혹한 플라즈마 환경에 견딜 수 있는 최적의 조건을
갖춘 소재로서 반도체 공정 중에 발생되는 Particle & Cortamination 저감을
가져올 수 있습니다. 이에 따라 반도체 공정 중의 Dry Etching, CVD 및 기타 공정
치구용 부품으로 사용범위가 증가하고 있습니다.
Quartz Part 쿼츠
쿼츠(Quartz)는 GE(General Electric)에 의해 고성능 램프용으로 개발되었습니다.
화학적 성분과 비교적 높은 내열성을 가지고 있으며 반도체, 광섬유 등 초고순도의
재질적 특성 때문에 다양한 분야에 사용되고 있습니다. 쿼츠(Quartz)제품은 크게
Diffusion Part 및 Spare Part로 나누어지며 SKC solmics는 Spare Part를 주로 생산하고
있습니다. 소모가 잘된다는 단점이 있는 반면에,초고순도와 투광성 측면에서
탁월한 효과가 있어서 웨이퍼 집적도의 대용량화와 LCD기판의 대형화에 따라
꾸준히 사용되고 있습니다.