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쿼츠

Quartz Part
쿼츠 개요
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쿼츠(Quartz)는 가스함유량이 적고 전기전도를 생기게 하는 알칼리 성분을 거의 포함
하고 있지 않는 부도체 상태로 ‘실리카 Glass’라고 불립니다.  고순도화된 석영유리
섬유는 광흡수가 적고 우수한 도광성을 가지고 있어 광파이버로서 중요한 소재이며
반도체에서는 주로 Dry Etch와 Diffusion공정에 사용됩니다.
내열, 내열충격, 내약품성을 이용하여 이화학 실험기구나 시계, 통신기 등 수정
진동자로써 사용되고 광파이버는 광일렉트로닉스 진보에 따라 광학부품으로
사용이 점점 증가하는 추세 입니다.
재질적 특성
초고순도의 재질적 특성을 갖는다.
실록산(규소-산소)사슬은 탄소-산소의 결합에너지 보다 훨씬 강하므로, 온도변화에 따른 물리적 기계적 성질변화가 적은
장점으로 인하여 비교적 고온(약 200℃ 정도까지)에서도 소자가 동작할 수 있는 장점이 있다.
가스 함량이 적다.
반도체 공업에 사용되는 재질은 매우 고순도라야 하며, 고온에서의 안정성이 요구 되므로 이러한 점에서
쿼츠는 다른 재료에 비해 월등히 뛰어나다.
비열과 비전도율
반도체 공업에 사용되는 재질은 매우 고순도라야 하며, 고온에서의 안정성이 요구 되므로 이러한 점에서
쿼츠는 다른 재료에 비해 월등히 뛰어나다.
뛰어난 전기절연능력을 갖는다.
쿼츠는 전기전도를 생기게 하는 알칼리 서운을 거의 포함하고 있지 않는 부도체 상태이므로 측정기나 통신기종에 없어서는
안 될 절연체로 널리 이용되고 있다.
주요경쟁력
구분 내용
품질
  • - 검/교정된 최첨단 측정장비를 이용하여 최상의 제품 공급
  • - 1000Class 이상의 Clean-room에서 최종세척을 통해 불량률 최소화
기술
  • - CAD/CAM을 이용한 초정밀 머시닝센터 가공기술력 보유
  • - 공장자동화시스템 구축을 통해 다품종 소량생산
가격
  • - 소모성부품 국산화를 통해 가격 경쟁력 갖춤
생산제품소개
SKC solmics㈜는 Diffusion Part과 Spare Part중 주로 Spare Part에서 필요한 여러형태의 Ring Type을 생산하고 있으며
정밀가공부분에 있어 독보적인 기술력을 보유하고 있습니다
쿼츠(Quartz)파트 주요제품
품명 제품용도 및 설명
Focus Ring 플라즈마 형성후 챔버내의 플라즈마가 정확한 위치로 모이게 하는
역할과 절연기능 수행. 최근 Si Focus Ring으로 일부 대체되고 있다.
2단 Ring 플라즈마의 압력을 제어하는 역할을 한다.
Belljar 마이크로파를 투과시켜 플리즈마 형성을 제어하는 역활
Boat류 열산화막 확산 CVD(Chemical Vapor Deposition)공정에서 사용되며,
웨이퍼를 공정에 이송 하기 위한 용기로서 사용된다.
Tube류 산화막 형성 또는 확산 공정에 사용되며 Boat류 제품을
감싸는 형태의 Quartz반응로이다.
Cap류 Quartz를 받쳐주는 제품으로 내부의 열손실이 없도록 보온역할을 한다.
Bath류 Wafer세정공정과 Etching공정에서 Wafer에 손상을 주지 않으면서
담을 수 있는 사각의 통
기타 주요제품 Wide Pocket, Shadow Ring, Base Plate, Lifter Pin, Shield Ring...etc.
물성표
Purity(%) 순도 99.99
Bulk Density(g/cm³) 밀도 >2.15
Load0.5Kg HV1=9.807N Vickers Hardness(GPa) 비커스경도 8.6
Bending Strength(MPa) 굽힘강도 70
Compressive Strength(MPa) 압축강도 1100
Poissons Ratio 포아손비 0.17
Thermal Conductivity(W/mK)열전도 1.5
Thermal Expansion(x10-6/°C) 열팽창계수 4.3
Specific Heat([RT]J/kg.K)비열 0.2
Volume Resistivity(Ω. ㎝)체적고유사항 >1014
Dielectric Constant(25°C 1MHz)유전상수 3.75