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SiC

SiC
실리콘카바이드의 개요
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실리콘 카바이드(SiC)는LP-CVD 공정에 이용되는 기존의 실리콘이나 석영소재에
비해 열전도성과 내식성, 내화학성이 좋고 열팽창률이 낮아 장기간 사용시에도
파손의 우려가 적은 화합물 소재입니다.
고순도 SiC 치구류는 1,200℃이상의 고온조건에서도 안정하기 때문에
반도체 확산 공정 및 상압 CVD, LP-CVD공정에서 품질 및 효율향상 등에 크게
기여할것으로 기대되고 있습니다.
미세조직 제어기술 및 고인성 탄화규소는 산업용 및 구조용 탄화규소 부품인
고인성 탄화규소는 산업용 및 구조용 탄화규소 부품인 절삭공구, 메카니컬씰,
고온, 스프링, 엔진부품 등으로 개발될 수 있고 현재 활발한 연구 개발을 통해
실제 부품제조에 응용하기 위한 노력이 계속되고 있습니다.
재질적 특성
화학적 성질
탄화규소는 화학적으로 매우 안정한 화합물로 HCI, HF, H2, H2SO4, NaOH등의 용액에 침식되지 않습니다.
전기적, 기계적 성질
순수한 탄화규소 단결정은 상온에서 절연체지만, 불순물의 종류나 양에 따라 성질이 크게 달라집니다.
CVD-SiC 코팅 제품
SiC표면에 CVD코팅시 표면의 막이 더욱 치밀질이 되어 불순물원소의 확산 방출을 막아주고,
대부분의 산성용액에 대해 내식성이 증가됩니다.
생산제품 소개
BOAT류
열산화막 확산 CVD 공정에서 웨이퍼를 다음 공정에 이송하기 위한 용기모양의 제품
TUBE
열산화막 확산 CVD 공정에서 Boat류 제품을 감싸는 제품
CAP
SiC를 받쳐주는 제품으로 내부의 열손실이 없도록 보온 역할을 하는 제품
기타생산제품
Ring Type 에 각종 반도체용 치구류
물성표
Purity(%) 순도 >99.9 (CVD>7N)
Bulk Density(g/cm³) 밀도 >2.95
Load0.5Kg HV1=9.807N Vickers Hardness(GPa) 비커스경도 22
Bending Strength(MPa) 굽힘강도 >240
Compressive Strength(MPa) 압축강도 1600
Youngs Modulus(GPa) 영율 340
Poissons Ratio 포아손비 0.16
Thermal Conductivity(W/mK)열전도 190
Thermal Expansion(x10-6/°C) 열팽창계수 25~400℃ : 3.8
25~800℃ : 4.6
Specific Heat([RT]J/kg.K)비열 0.7
Volume Resistivity(Ω. ㎝)체적고유사항 10-1
Dielectric Constant(25°C 1MHz)유전상수 8